L4
C2611
台灣 步進式曝光機
步進式光刻機，i-line 365nm。NA=0.6、解析度0.35μm、曝光視野22×22mm、自動對焦對準、產能100片/h。
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⚠️ 以上資訊僅供參考，不構成推薦、背書或排名
步進式光刻機，i-line 365nm。NA=0.6、解析度0.35μm、曝光視野22×22mm、自動對焦對準、產能100片/h。
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