乾式或濕式蝕刻移除晶圓特定區域材料，形成電路圖案
國際品質管理系統標準，適用於所有製造業
台灣勞動基準法
台灣環境保護法規
台灣職業安全衛生法規
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步進式光刻機，i-line 365nm。NA=0.6、解析度0.35μm、曝光視野22×22mm、自動對焦對準、產能100片/h。