CVD 爐管、蝕刻機、離子植入機等晶圓製程設備
國際品質管理系統標準，適用於所有製造業
台灣勞動基準法
台灣環境保護法規
台灣職業安全衛生法規
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ICP電漿蝕刻機，6吋晶圓。13.56MHz RF、蝕刻速率500nm/min、均勻性±3%、終點偵測、真空<1×10⁻⁶。